對(duì)于一些特殊要求零件的加工，可以在現(xiàn)有成熟的超精密元部件如超精密主軸、高精度導(dǎo)軌等基礎(chǔ)上，并利用模塊化技術(shù)，研制一些特種超精密加工設(shè)備，這樣既能縮短研制周期，又能降低研制成本。
 

　　目前狀況下，表面粗糙度儀可以在一定程度上測(cè)量加工件的粗糙度，使其符合加工要求。
 

　　由于超精密加工技術(shù)的研究需要潔凈的環(huán)境、嚴(yán)格的溫度控制、昂貴的加工設(shè)備及檢測(cè)設(shè)備，這一切都需要高投入，這在一定程度上限制了其研究和應(yīng)用。
 

　　可以通過各種途徑，例如應(yīng)用模塊化技術(shù)降低超精密加工設(shè)備研制成本，采用局部小環(huán)境控制技術(shù)降低對(duì)整體環(huán)境的控制成本等。在此基礎(chǔ)上，可以將先進(jìn)的超精密加工技術(shù)應(yīng)用于某些民用行業(yè)，取得較好的經(jīng)濟(jì)效益。
 

　　但是加工微機(jī)械零件不一定非要用微型加工機(jī)床，加工儀表零件機(jī)床的特點(diǎn)并不是其體積有多小，而是與普通機(jī)床相比精度較高。
 

　　所以微機(jī)械零件的機(jī)械加工設(shè)備的最關(guān)鍵指標(biāo)是機(jī)床的精度，況且一味地追求減小機(jī)床體積只能加大成本。超精密加工技術(shù)由于其加工精度高、切削力小等特點(diǎn)，特別適合進(jìn)行微機(jī)械零件的加工，這也將為微機(jī)械零件的加工開辟了一條新的途徑。
 

　　超精密加工技術(shù)的最大的需求是先進(jìn)的裝備系統(tǒng)，軍事需求直接推動(dòng)著超精密加工技術(shù)的發(fā)展。粗糙度測(cè)量?jī)x不能夠*適應(yīng)需要，針對(duì)我國(guó)目前超精密加工技術(shù)領(lǐng)域的發(fā)展?fàn)顩r，應(yīng)根據(jù)國(guó)情加大對(duì)超精密加工工藝以及特種超精密加工設(shè)備的研究，并力圖降低超精密加工技術(shù)的成本，拓寬超精密加工技術(shù)的應(yīng)用領(lǐng)域。